EUV lithography devine o sursă majoră de consum energetic în fabricile de semiconductori. Conform analizei realizate de TechInsights, fiecare unealtă EUV necesită 1,400 kW, suficient pentru a alimenta un oraș mic, iar până în 2030, consumul total al fabricilor echipate cu aceste unelte ar putea depăși 54,000 gigawați anual. Această cifră este comparabilă cu consumul anual al unor țări precum Singapore sau Grecia. De asemenea, numărul fabricilor echipate cu unelte EUV va crește de la 31 la 59, ceea ce va duce la o dublare a consumului de energie. În prezent, chipmakerii investesc în energie verde, dar viitorul ridicat al cererii de energie va necesita soluții alternative, inclusiv posibila utilizare a energiei nucleare. TechInsights subliniază necesitatea investițiilor în tehnologiile eficiente energetic și în sursele de energie regenerabilă pentru a minimiza impactul asupra mediului.