Echipamentele EUV vor consuma 54.000 GW anual până în 2030, ceea ce depășește consumul anual al unor țări precum Singapore și Grecia. Aceste echipamente, esențiale pentru fabricarea semiconductoarelor, consumă 1.400 kW fiecare, echivalentul energiei necesare pentru a alimenta un oraș mic. TechInsights estimează că numărul fabricilor dotate cu aceste echipamente va crește de la 31 la 59, iar consumul total de energie va depăși 6.100 GW pe an, cu o contribuție semnificativă la consumul total de electricitate în fabrici. Deși acest consum reprezintă doar 0,21% din totalul global, provocările pentru infrastructura energetică sunt semnificative, având în vedere cerințele în creștere ale centrelor de date și ale altor industrii. Industria semiconductorilor trebuie să investească în tehnologii eficiente energetic și surse de energie regenerabilă pentru a minimiza impactul asupra mediului.